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有气体既可以存在于生产原料中，如大多数的有机化学物质（VOC），也可能存在于生产过程的各个环节的副产品中，如氨、一氧化碳、硫化氢等等。它们是对工作人员造成危害的危险因素。这种危害不仅包括立即的伤害，如身体不适、发病、死亡等等，而且包括对于长期的危害，如致残、癌变等等。对于这些有有害气体的检测是我们发展家应当开始引起充分重视的问题。表：常见有有害气体的TWA（8小时统计权重平均值）、STEL（15分钟短期暴露水平）、IDLH（立即致死量）（m）和MAC（车间允许浓度）mg/m3。可靠性是对产品耐久力的测量，我们主要典型的IC产品的生命周期可以用一条浴缸曲线来表示。集成电路的失效原因大致分为三个阶段：阶段被称为早期失效期,这个阶段产品的失效率快速下降，造成失效的原因在于IC设计和生产过程中的缺陷；第二阶段被称为偶然失效期,这个阶段产品的失效率保持稳定，失效的原因往往是随机的，比如温度变化等等；第三阶段被称为损耗失效期，这个阶段产品的失效率会快速升高，失效的原因就是产品的长期使用所造成的老化等。
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